滁州盛诺电子科技有限公司年产200万平方米薄膜晶体管（TFT）表面防静电镀膜项目竣工环境保护验收意见

2018年3月31日，依据国家有关环保法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范、本项目环境影响报告和审评部门审批批复等要求，滁州盛诺电子科技有限公司在滁州市主持召开“滁州盛诺电子科技有限公司年产200万平方米薄膜晶体管（TFT）表面防静电镀膜项目”竣工环境保护验收会，成立了竣工环境保护验收工作组（以下简称“验收组”），验收组由滁州盛诺电子科技有限公司（建设单位）、合肥海正环境监测有限责任公司（验收监测单

位）、3位行业专家共5人组成并开展竣工环境保护验收工作。建设单位汇报了该项目环境保护“三同时”执行情况，验收监测单位汇报了验收监测报告编制情况，验收组对项目现场进行了踏勘，并查阅了有关环保资料，验收工作组最终形成验收意见如下：

一、项目基本情况

项目建设地点：滁州经济开发区城东工业园世纪大道以南、杭州路以西；

建设性质：新建（重新报批）：

建设内容：年产200万平方米薄膜晶体管（TFT）表面防静电镀膜项目。

建设过程及环保审批情况：企业委托南京科泓环保技术有限责任公司（国环评乙字第1980号）重新编制《年产200万平方米薄膜晶体管（TFT）表面防静电镀膜项目环境影响报告书》，2017年3月取得滁州市环境保护局对该报告表的批复（环审［2017]165号），2017年12月完成建设项目。

投资情况：实际投资39000万元，其中环保投资239万元，约占总投资额0.6%。

验收范围：整体验收

二、项目变动情况

项目减薄车间1废气处理设施为原工程1期已建成项目，每3间减薄车间的废气通过各自二级酸雾吸收塔吸收处理后排入1间废气室，在从废气室通过1根15m高排气筒排出，废气室不密闭。

三、环保设施建设情况

（－）废气

1、有组织废气

（1）酸雾

本项目酸性废气主要产生于减薄工段。企业用13％浓度的盐酸和8%浓度的氢氟酸混合作为酸洗液。在50℃左右条件下。产生的酸雾主要成分为氯化氢和氟化氢气体。本项目减薄车间包括减薄车间1（已建）和减薄车间2（新建）。

减薄车间1共设置12条生产线，各减薄规模、处理指施均相同。减薄车间1的12条减薄生产线产生的酸性废气经并联的12座二级酸雾吸收塔处理后分别经4根15m高排气简外排（并联的每3座二级酸雾吸收塔处理出来的废气经过1根15m高排气筒外排，分别为1＃、2＃、3＃、4＃排气简）。减薄车间2共设置7条减薄生产线，各减薄规模、处理措施均相同。减薄车间2的每条减薄生产线产生的酸性废气分别经1座二级酸雾吸收塔处理后经1根15m高排气筒外排。

项目食堂产生的油烟经油烟净化器处理后达标排放。

（二）废水

（1）本项目生活污水主要污染因子为CODcr、SS、氨氨。生活污水经化粪池预处理进入园区污水管网，汇入滁州市城东污水处理厂处理。

（2）减薄废液、酸雾吸收塔废水、减薄车间地面冲洗废水、减薄后清洗废水经中和沉淀池进行预处理，满足《污水综合排放标准》（GB 8978－1996）表4中三级标准及《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962－2015）中B级标准限值要求后，经园区污水管网进入滁州市城东污水处理厂处理。

（3）抛光后清洗废水、镀膜前清洗废水、抛光废水、纯水制备反冲洗废水主要污染物为SS，经沉淀处理后入园区污水管网，汇入滁州市城东污水处理厂处理。

四、环境保护设施调试效果

合肥海正环境监测有限责任公司于2018年02月24日－25日进行了现场验收监测，验收监测结果如下：

4.1废气监测结果

验收监测期间，该项目无组织氯化氢和氟化物均低于方法检出限，满足（大气污染物综合排放标准》（GB 16297－1996）表2中无组织排放监控浓度限值要求。

项目有组织氯化氢最大排放浓度0.489 mg/m³，最大排放速率为0.00547 Kg/h：有组织氯化物最大排放浓度为8.93 mg/m³，最大排放速率为0.088 Kg/h，满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297－1996）表2有组织排放监控限值要求。

该项目油烟最大排放浓度为1.70 mg/m³。满足《饮食业油烟排放标准》（试行）（GB 18483－2001）中标准要求。

4.2 废水结果

验收监测期间，该项目废水PH为7.12-7.20，化学需氧量最大日均浓度为88 mg/L。生化需氧量最大日均浓度为27.6 mg/L，氨氮最大日均浓度为3.74 mg/L，悬浮物最大日均浓度为10 mg/L，氯化物最大日均浓度为771 mg/L，氟化物最大日均浓度为9.52 mg/L，满足《污水综合排放标准》（GB 8978－1996）表4中三级标准要求，其中氨氮满足《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962－2015）表1中B级标准要求。

四、本项目建设对环境的影响

根据验收监测结果，该项目废气和废水均达到相应的排放标准限值。

五、结论

按《建设项目环境保护管理条倒》中所规定要求：本项目建设前期环境保护审查、审批手续完备，技术资料与环境保护档案资料基本齐全：环境保护设施基本按环评及批复的要求落实：滁州盛诺电子科技有限公司年产200万平方米薄膜晶体管（TFT）表面防静电镜膜项目竣工环境保护验收合格，同意通过项目竣工环境保护验收。

六、后续要求

1.补充环境风险应急预案的备案号，在线设备的比对监测报告，尽快完

成在线仪器设备的联网及验收；

2.重新核实减薄1车间吸收塔出口氯化氢、氟化物的排放浓度，建议将吸收塔废气通过管道直接引出高空排放；

3.报告应增加对滁环法（2015）45号提出的现有工程环保问题的整改情况内容；

4.加强环境管理，提高职工环保意识，设置专人负责环保，落实环境及污染源监测制度，确保各项治理设施正常稳定运行。